转眼便是三月五日,春节假期早已过去,楚千澜上班也已经一个多星期。
就在五天前,65纳米光刻机完成了调试。
早在年前,负责研发存储芯片的赵立伟团队根据之前的研发成果,简化出一款65纳米制程的存储芯片。
这也是为了实验65纳米光刻机调试结果,专门研发的芯片。
不过,因为各种原因,这款芯片的流片直到第三次才成功。
听到这消息,楚千澜也很高兴。这意味着,65纳米光刻机调试成功。
而接下来,深蓝半导体的设备工程师又忙碌起来,他们开始尝试使用“多重曝光技术”,生产45纳米制程的存储芯片。
65纳米光刻机生产65纳米芯片,这本就是正常的事情。而生产出45纳米的芯片,才是楚千澜真正的目标。
三月五日的中午,深蓝半导体的厂区被笼罩在春雨当中,二号车间内却已是一片忙碌景象。
“多重曝光技术”的试验正在紧锣密鼓地进行中。工程师们围在65纳米光刻机旁,神情专注而紧张。
\"第一道曝光工序完成,准备第二道。\"设备工程师的声音透过对讲机传来。
\"确认对位精度,误差控制在0.02微米以内。\"张北光的声音沉稳而坚定。
楚千澜站在观察窗前,目光紧紧盯着屏幕上的对位标记。这是他真正关心的时刻,用65纳米设备挑战45纳米制程。
经过数小时的精细操作,第一片硅晶圆完成所有生产工序。
\"送检测室。\"张北光下令。
等待检测结果的时间总是漫长的。楚千澜在走廊上来回踱步,思绪万千。
\"如果这次成功,我们将拥有自主生产45纳米芯片的能力。\"王世杰站在一旁,语气中带着期待。
楚千澜点点头:\"这不仅是技术上的突破,更是对我们自主创新能力的证明。\"
就在这时,检测室的门开了。
\"结果出来了!\"检测工程师兴奋地喊道,\"良率达到了72%!\"
车间内瞬间爆发出欢呼声。楚千澜的脸上也露出了久违的笑容。
\"好!\"他重重拍了一下桌子,\"接下来,要多尝试多重曝光,熟练掌握这门技术。”
说话间,楚千澜转头看向陈文州,“陈工,你们芯片设计部门若有完成设计的芯片,都可以拿过来尝试生产。
多重曝光技术的45纳米制程掩模版,也需要熟练制作。生产出来的芯片,你们也可以拿回去测试一下效果,为以后的升级积累经验。”
陈文州闻言,眼中瞬间亮起光芒,快步上前递过一份芯片设计清单:“楚总,星源探索已经完成3款45nm芯片的架构设计,分别是低功耗嵌入式芯片、电源管理芯片以及基带芯片。
我稍后就联系相关团队,让他们做好流片的准备!”
楚千澜接过清单,目光扫过芯片参数。嵌入式芯片与电源管理芯片不用说,有180纳米的设计经验,再加上功能相对简单,将其升级并不困难。
反倒是45纳米基带芯片,能这么快完成研发,着实让他感到意外。
“这基带芯片,是所有模式都完成研发了嘛?”
陈文州连忙解释:“楚总,虽然各种模式都完成了研发,但相互之间相对独立。我们下一步,准备将2g基带芯片分别与3种模式的3g基带芯片进行组合。
完成目标后,我们还会将这四种基带芯片全部组合到一起,使其成为一枚芯片。到那时,我们的手机将不再区分各个运营商。”
楚千澜闻言,微微颔首:“先从2G+单模3G的组合入手,这部分要在12月前完成设计,给生产留下一部分时间。”
随后,他转头看向王世杰,“要尽快熟悉多重曝光技术下的掩模版制作与生产流程。
进入四月后,就要停止设备运转,展开65纳米光刻机的复刻行动,争取在半年内完成数据积累,10月份重新完成安装调试!”
王世杰握文件的手指微微收紧,眼中闪过一丝了然:“楚总放心,多重曝光技术的掩模版制作工艺,我们已经组织工程师专项攻关,目前良率稳定在85%以上,完全能满足45nm芯片的试产需求。
至于65nm光刻机的复刻,张北光团队早已制定详细拆解方案,等熟悉完多重曝光技术下的45纳米芯片制作,就可以正式开启。”
楚千澜点了点头,继续问道,“去年复刻的250纳米光刻机,现在是什么情况?”
王世杰听到“250纳米光刻机”的问题,眼中闪过一丝兴奋,连忙翻开随身携带的笔记本:“张北光团队拆解了原机1326个核心部件,绘制出完整的三维模型图,关键参数误差均控制在±0.5微米以内。”
他顿了顿,语气带着几分自豪:“现在大部分核心部件已经完成制作,安装到位,只差几个关键部件就能彻底完工。”
“没有完成复刻?”楚千澜眸光闪过诧异,“关键部件没有到位,缺的是技术,还是材料?”
王世杰连忙解释:“主要是精密导轨和伺服电机这两个关键部件。
我们尝试了三家国内厂商,生产的导轨定位精度始终差0.003微米,达不到原机±0.005微米的标准;
伺服电机的扭矩波动也超出设计阈值,高速运转时会导致工作台轻微震颤,影响光刻精度。”
他顿了顿,补充道:“张北光团队已经联系了恒川机械,他们正在优化导轨的研磨工艺,预计下个月能拿出达标样品;
伺服电机则找了一家军工配套企业,对方有高精度电机生产经验,只是需要重新开模,周期大概要两个月。”
楚千澜指尖轻叩观察窗边缘,目光扫过车间内忙碌的工程师:“两个月时间能等,但要同步推进,让张北光团队随时跟进,确保部件生产过程中的参数偏差能及时调整,别等最后组装才发现问题。
拆解复刻65纳米光刻机的过程,会遇到更多麻烦的问题,有什么解决不了的,随时联系我!”
就在此时,王世杰接到一个电话,脸色微变,“楚总,沈院士来电,想要过来参观65纳米光刻机?”
楚千澜闻言,眼中闪过一丝难看,“他知道我们生产出45纳米芯片了?”